干法蚀刻通常指利用辉光放电方式，产生等离子体来进行图案转移的

【名词&注释】

自由基(free radical)、硫酸铜(copper sulfate)、化合价(valence)

[多选题]干法蚀刻通常指利用辉光放电方式，产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有（）。

A. 离子、电子
B. 中性原子
C. 分子
D. 自由基

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学习资料：

[单选题]化学沉铜中若要沉厚铜，温度应（）。

A. 室温
B. 零度
C. 加热（35℃以上）
D. 不需要控制

[单选题]化学沉铜是在碱性的介质中进行的，为防止二价铜离子在碱性环境中生成沉淀，需要加入（）。

A. 硫酸
B. 硫酸铜
C. EDTA-2Na
D. 盐酸

[单选题]蚀刻后，铜元素的化合价为（）。

B. ＋1
C. ＋2
D. ＋4

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