【名词&注释】
真空镀膜(vacuum coating)、真空蒸发(vacuum evaporation)、原子数(atomicity)
[单选题]()是指每个入射离子溅射出的靶原子数。
A. 溅射率
B. 溅射系数
C. 溅射效率
D. 溅射比
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学习资料:
[单选题]薄膜沉积的机构,依发生的顺序,可以分为这几个步骤。其中不包括()。
A. 形成晶核
B. 晶粒自旋
C. 晶粒凝结
D. 缝道填补
[单选题]真空蒸发又被人们称为()。
A. A.真空沉积B.真空镀膜C.真空外延D.真空
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