2022集成电路制造工艺员（三级）题库知识点汇总每日一练(04月08日)

1. [单选题]在确定扩散率的实验中，扩散层电阻的测量可以用（）测量。

A. SIMS技术
B. 扩展电阻技术^{(spreading resistance technique)}
C. 微分电导率技术
D. 四探针技术

2. [单选题]下列哪些因素不会影响到显影效果的是（）。

A. 显影液的温度
B. 显影液的浓度
C. 显影液的溶解度
D. 显影液的化学成分

3. [单选题]（）是指每个入射离子溅射出的靶原子数^(atomicity)。

A. 溅射率
B. 溅射系数
C. 溅射效率
D. 溅射比

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