（）的气体源中一般包含H+，C+，B+，Cl+，O+等离子。

【名词&注释】

等离子(plasma)、自扩散(self-diffusion)、杂质扩散(impurity diffusion)

[单选题]（）的气体源中一般包含H+，C+，B+，Cl+，O+等离子。

A. Cl2
B. BCl3
C. CO2
D. H2

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学习资料：

[单选题]固体中的扩散模型主要有填隙机制和（）。

A. 自扩散机制
B. 杂质扩散机制
C. 空位机制
D. 菲克扩散方程机制

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