【名词&注释】
光刻胶、扩散系数(diffusion coefficient)、高灵敏度、光辐射、载流子浓度(carrier concentration)、激光退火(laser annealing)、传输率(transfer rate)、单位面积(unit area)
[单选题]菲克一维扩散定律公式中的J是代表单位面积(unit area)溶质()。
A. 传输率(transfer rate)
B. 载流子浓度
C. 扩散梯度
D. 扩散系数
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学习资料:
[多选题]超大规模集成电路需要光刻工艺具备的要求有()。
A. 高分辨率
B. 高灵敏度
C. 精密的套刻对准
D. 大尺寸
E. 低缺陷
[多选题]光刻胶的光学稳定通过()来完成的。
A. 红外线辐射
B. X射线照射
C. 加热
D. 紫外光辐射
E. 电子束扫描
[单选题]激光退火(laser annealing)目前有()激光退火(laser annealing)两种。
A. 一般和特殊
B. 脉冲和连续
C. 高温和低温
D. 快速和慢速
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