dry vacuum pump的意思是（）。

【名词&注释】

光刻胶、绝缘体(insulator)、循环泵(circulating pump)、真空泵(vacuum pump)、红外线(infrared)、电子元件(electronic component)、分析器(analyzer)、紫外光辐射(uv radiation)、感光剂(photosensitizer)、场氧化层(field oxide)

[单选题]dry vacuum pump的意思是（）。

A. 扩散泵
B. 谁循环泵
C. 干式真空泵
D. 路兹泵

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学习资料：

[多选题]光刻胶主要由（）等不同材料混合而成的。

A. 树脂
B. 感光剂^{(photosensitizer)}
C. HMDS
D. 溶剂
E. PMMA

[多选题]下列有关曝光系统的说法正确的是（）。

A. 投影式同接触式相比，掩模版的利用率比较高
B. 接触式的分辨率优于接近式
C. 接近式的分辨率受到衍射的影响
D. 投影式曝光系统中不会产生衍射现象
E. 投影式曝光是目前采用的主要曝光系统

[多选题]光刻胶的光学稳定通过（）来完成的。

A. 红外线辐射
B. X射线照射
C. 加热
D. 紫外光辐射^{(uv radiation)}
E. 电子束扫描

[单选题]分析器^(analyzer)是一种（）分选器。

A. 电子
B. 中子
C. 离子
D. 质子

[单选题]在IC芯片生长中浅沟槽隔离技术STI逐渐取代了局部氧化LOCOS所制成的（）而成为相邻电子元件的绝缘体

A. 栅氧化层
B. 沟槽
C. 势垒
D. 场氧化层^{(field oxide)}

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