下列哪些部件在机器运行时需要冷却水？（）

【名词&注释】

表面质量(surface quality)、真空度(vacuum)、冷却水(cooling water)、电子枪(electron gun)、滤色片(color filter)、运行时(run-time)

[多选题]下列哪些部件在机器运行时^(run-time)需要冷却水？（）

A. A、电子枪
B. B、扩散泵
C. C、坩埚盘
D. D、晶振头

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学习资料：

[单选题]流程卡表面质量

A. A、点子大小
B. B、点子比例
C. C、点子间隔
D. D、道子宽度

[单选题]镀650±10IR-CUT滤色片^{(color filter)}，请问镀出在哪个波长范围内合格（）。

A. A、640~660nm
B. B、640~655nm
C. C、630-660nm
D. D、635-660nm

[多选题]真空室内部清扫不干净，可能会导致以下哪些结果？（）

A. A、机器抽速慢
B. B、产品表面质量差
C. C、机器效率降低
D. D、分光特性不重复

[多选题]真空度不对会导致以下哪些结果（）。

A. A、整罩分光特性超差
B. B、均匀性不好
C. C、表面不好
D. D、膜层牢固度不好

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