离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。

【名词&注释】

扩散系数(diffusion coefficient)、离子注入(ion implantation)、砷化氢(arsine)

[多选题]离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。

A. 砷化氢
B. 二硼化氢
C. 四氟化硅
D. 三氟化磷
E. 五氟化磷

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学习资料：

[单选题]表示杂质在硅-二氧化硅界面处重新分布的性质和程度，习惯上常用（）。

A. 分凝度
B. 固溶度
C. 分凝系数
D. 扩散系数

[多选题]下列哪些因素会影响临界注入量的大小：（）。

A. 注入离子的质量
B. 靶的种类
C. 注入温度
D. 注入速度
E. 注入剂量

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