【名词&注释】
分辨率(resolution)、电子束曝光(electron beam lithography)、显著特点(remarkable characteristics)、离子束曝光技术
[填空题]零件的加工精度包括三方面的内容即(),(),()。
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学习资料:
[单选题]光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是()。
A. 电子束曝光技术
B. 离子束曝光技术
C. X射线曝光技术
[单选题]下列不属于先进制造工艺所具有的显著特点的是()。
A. 优质
B. 能耗大
C. 洁净
D. 灵活
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