干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。

【名词&注释】

离子注入(ion implantation)、砷化氢(arsine)、干氧氧化(dry oxidation)

[多选题]干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。

A. 生长的二氧化硅薄膜均匀性好
B. 生长的二氧化硅干燥
C. 生长的二氧化硅结构致密
D. 生长的二氧化硅是很理想的钝化膜
E. 生长的二氧化硅掩蔽能力强

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学习资料：

[单选题]如果磷在二氧化硅中扩散，对扩散率影响最大的因素是：（）。

A. 扩散剂总量
B. 压强
C. 温度
D. 浓度

[多选题]离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。

A. 砷化氢
B. 二硼化氢
C. 四氟化硅
D. 三氟化磷
E. 五氟化磷

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