采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是（）的。

【名词&注释】

热氧化(thermal oxidation)、二氧化硅薄膜、干氧氧化(dry oxidation)

[单选题]采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是（）的。

A. 结晶形态
B. 非结晶形态
C. 可能是结晶形态的，也可能是非结晶形态的
D. 以上都不对

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学习资料：

[多选题]干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。

A. 生长的二氧化硅薄膜均匀性好
B. 生长的二氧化硅干燥
C. 生长的二氧化硅结构致密
D. 生长的二氧化硅是很理想的钝化膜
E. 生长的二氧化硅掩蔽能力强

[单选题]光刻工艺中，脱水烘焙的最初温度是（）。

A. 150－200℃
B. 200℃左右
C. 250℃左右
D. 300℃左右

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