2022集成电路制造工艺员题库集成电路制造工艺员（三级）题库试题试卷(6AD)

1. [单选题]point defect的意思是（）。

A. 点缺陷
B. 线缺陷
C. 面缺陷
D. 缺失的点

2. [单选题]下列关于曝光后烘烤的说法正确的是（）。

A. 烘烤的目的是除去光刻胶中的水分
B. 烘烤可以减轻曝光中的驻波效应
C. 烘烤的温度一般在300℃左右
D. 烘烤的时间越长越好

3. [单选题]（）是测量在刻蚀过程中物质被移除的速率有多快的一种参数。

A. 刻蚀速率
B. 刻蚀深度
C. 移除速率
D. 刻蚀时间

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