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列多晶硅生长过程中需要通入氩气做保护气的是().

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  • 【名词&注释】

    温度场(temperature field)、重力场(gravity field)、多晶硅(polysilicon)、晶体生长工艺

  • [单选题]列多晶硅生长过程中需要通入氩气做保护气的是().

  • A. 加热
    B. 化料
    C. 晶体生长
    D. 冷却

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  • 学习资料:
  • [单选题]通过()改变驱动力场,借以控制生长系统中的成核率,这是晶体生长工艺中经常使用的方法。
  • A. A、温度场
    B. B、磁场
    C. C、重力场
    D. D、电场

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