形成表面压应力的方法有：（），（），（），（），（），（）。

【名词&注释】

数据管理(data management)、离子束刻蚀(ion beam etching)、干法刻蚀(dry etching)

[填空题]形成表面压应力的方法有：（），（），（），（），（），（）。

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学习资料：

[单选题]ERP的含义是（）。

A. 制造资源计划
B. 物料需求计划
C. 企业资源计划
D. 产品数据管理

[单选题]微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

A. 离子束刻蚀、激光刻蚀
B. 干法刻蚀、湿法刻蚀
C. 溅射加工、直写加工

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