大硅片上生长的（）的不均匀和各个部位刻蚀速率的不均匀会导致刻

【名词&注释】

不均匀性(inhomogeneity)

[单选题]大硅片上生长的（）的不均匀和各个部位刻蚀速率的不均匀会导致刻蚀图形转移的不均匀性。

A. 薄膜厚度
B. 图形宽度
C. 图形长度
D. 图形间隔

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学习资料：

[单选题]当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。饱和正是对应连续（）的形成。

A. 非晶层
B. 单晶层
C. 多晶层
D. 超晶层

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