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离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成()离子,并通过一个引

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    离子源(ion source)、离子束(ion beam)

  • [单选题]离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成()离子,并通过一个引出系统形成离子束。

  • A. 正
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