解决氧化层中的钠离子沾污的方法有（）。

【名词&注释】

热扩散(thermal diffusion)、电子束蒸发(electron beam evaporation)、碱金属(alkali metal)、高灵敏度、离子注入(ion implantation)、钠离子(sodium ion)、稀有金属(rare metal)、自动记录(automatic recording)、使用方便(easy to use)、高纯化学试剂

[多选题]解决氧化层中的钠离子沾污的方法有（）。

A. 加强工艺操作
B. 加强人体和环境卫生
C. 使用高纯化学试剂、高纯水和超净设备
D. 采用HCl氧化工艺
E. 硅片清洗后，要充分烘干，表面无水迹

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学习资料：

[多选题]超大规模集成电路需要光刻工艺具备的要求有（）。

A. 高分辨率
B. 高灵敏度
C. 精密的套刻对准
D. 大尺寸
E. 低缺陷

[单选题]早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。

A. 重离子加速器
B. 热扩散炉
C. 质子分析仪
D. 轻离子分析器

[单选题]电子束蒸发的设备中产生电子束的装置称为（）。

A. 电子源
B. 电子泵
C. 电子管
D. 电子枪

[单选题]危害半导体工艺的典型金属杂质是（）。

A. 2族金属
B. 碱金属
C. 合金金属
D. 稀有金属^{(rare metal)}

[多选题]电气测量技术的应用所以能在现代各种测量技术中占有重要的地位，是因为它具有很多优点，主要有：（）。

A. 电气测量仪表的结构简单，使用方便^{(easy to use)}
B. 电气测量仪表有足够的准确度
C. 电气测量仪表可以灵活地安装在需要进行测量的地方，并可实现自动记录^{(automatic recording)}
D. 可以解决远距离的测量问题，为集中管理和控制提供了条件
E. 能利用电气测量的方法对非电量（如温度、压力、速度、水位及机械变形等）进行测量

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