下列（）符号代表Y方向的光斑大小。

【名词&注释】

真空度(vacuum)、离子源(ion source)

[单选题]下列（）符号代表Y方向的光斑大小。

A. A、YP
B. B、YS
C. C、XP
D. D、EB

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[单选题]穿脱净化服流程（）。

A. A、手套→浴帽→净化帽→净化服→净化鞋→口罩
B. B、浴帽→净化帽→净化服→净化鞋→口罩→手套
C. C、手套→口罩
D. D、手套→口罩→浴帽→净化帽→净化服→净化鞋

[多选题]提高膜层聚集密度工艺有（）。

A. A、提高离子源功率
B. B、降低温度
C. C、降低真空度
D. D、提高温度

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