片状源扩散具有设备简单，操作方便，晶片缺陷少，均匀性、重复性

【名词&注释】

表面质量(surface quality)、重复性(repeatability)、水溶液(aqueous solution)、氢氟酸(hydrofluoric acid)、批量生产(batch production)、越来越(more and more)

[判断题]片状源扩散具有设备简单，操作方便，晶片缺陷少，均匀性、重复性和表面质量都较好，适于批量生产^{(batch production)}，应用越来越^{(more and more)}普遍。（）

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[单选题]腐蚀二氧化硅的水溶液一般是用（）

A. A、盐酸
B. B、硫酸
C. C、硝酸
D. D、氢氟酸

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