产品规格为77*77的晶片，镀膜一罩可以装120片，下片时由于不小心

【名词&注释】

平整度(smoothness)、洁净度(cleanliness)、产品规格(product specification)

[填空题]产品规格为77*77的晶片，镀膜一罩可以装120片，下片时由于不小心弄碎了1片，那么该罩的碎片率为（）。

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学习资料：

[多选题]SiO2料面的哪些因素对镀膜曲线有影响？（）

A. 平整度
B. 高度
C. 洁净度
D. 硬度

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