二氧化硅的制备方法很多，其中最常用的是高温（）、（）淀积、PE

【名词&注释】

热力学(thermodynamics)、自由能(free energy)、晶体缺陷(crystal defect)

[填空题]二氧化硅的制备方法很多，其中最常用的是高温（）、（）淀积、PECVD淀积。

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学习资料：

[单选题]厚膜元件烧结时，浆料中的固体颗粒由接触到结合、自由表面的收缩、空隙的排除、晶体缺陷的消除等都会使系统的自由能（），从而使系统转变为热力学中更稳定的状态。

A. 降低
B. 升高
C. 保持不变

[单选题]溅射法是由（）轰击靶材表面，使靶原子从靶表面飞溅出来淀积在衬底上形成薄膜。

A. 电子
B. 中性粒子
C. 带能离子

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