最常用的金属膜制备方法有（）加热蒸发、（）蒸发、（）。

【名词&注释】

热力学(thermodynamics)、自由能(free energy)、电子束(electron beam)、晶体缺陷(crystal defect)、金属膜(metal film)

[填空题]最常用的金属膜^{(metal film)}制备方法有（）加热蒸发、（）蒸发、（）。

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学习资料：

[单选题]厚膜元件烧结时，浆料中的固体颗粒由接触到结合、自由表面的收缩、空隙的排除、晶体缺陷的消除等都会使系统的自由能（），从而使系统转变为热力学中更稳定的状态。

A. 降低
B. 升高
C. 保持不变

[单选题]恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为（）分布。

A. 高斯
B. 余误差
C. 指数

[单选题]器件的横向尺寸控制几乎全由（）来实现。

A. 掩膜版
B. 扩散
C. 光刻

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