在热扩散工艺中的预淀积步骤中，硼在900～1050℃的条件下，扩散时

【名词&注释】

热扩散(thermal diffusion)、反应溅射、加速器(accelerator)、无损伤(no damage)、玻璃管(glass tube)、直流溅射(dc sputtering)

[单选题]在热扩散工艺中的预淀积步骤中，硼在900～1050℃的条件下，扩散时间大约（）为宜。

A. 4～6h
B. 50min～2h
C. 10～40min
D. 5～10min

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学习资料：

[单选题]当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。开始饱和的注入剂量称为（）。

A. 临界剂量
B. 饱和剂量
C. 无损伤剂量
D. 零点剂量

[多选题]溅射的方法非常多其中包括（）。

A. A.直流溅射^{(dc sputtering)}B.交流溅射C.反应溅射D.二级溅射E.三级溅射

[多选题]直流二极管辉光放电系统是由（）构成。

A. 抽真空的玻璃管^{(glass tube)}
B. 抽真空后再充入某种低压气体的玻璃管^{(glass tube)}
C. 两个电极
D. 加速器
E. 增益管

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