电荷积分仪的基本单元包括（）。

【名词&注释】

化学反应(chemical reaction)、控制电路(control circuit)、十进制(decimal system)、强迫性(obsessive-compulsive)、干氧氧化(dry oxidation)

[多选题]电荷积分仪的基本单元包括（）。

A. I-V转换
B. V-f转换
C. 十进制计数电路
D. 控制电路
E. 红外探测器

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学习资料：

[多选题]干氧氧化^{(dry oxidation)}法具备以下一系列的优点（）。

A. 生长的二氧化硅薄膜均匀性好
B. 生长的二氧化硅干燥
C. 生长的二氧化硅结构致密
D. 生长的二氧化硅是很理想的钝化膜
E. 生长的二氧化硅掩蔽能力强

[单选题]当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。饱和正是对应连续（）的形成。

A. 非晶层
B. 单晶层
C. 多晶层
D. 超晶层

[多选题]晶片表面上的粒子是通过（）到达晶片的表面。

A. 粒子扩散
B. 从气体源通过强迫性的对流传送
C. 化学反应
D. 被表面吸附
E. 静电吸引

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