剃齿能提高（）精度（），减少（）。但不能提高（）精度，因此剃

【名词&注释】

表面粗糙度、离子束刻蚀(ion beam etching)、干法刻蚀(dry etching)

[填空题]剃齿能提高（）精度（），减少（）。但不能提高（）精度，因此剃前加工以（）加工为好。

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学习资料：

[单选题]微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

A. 离子束刻蚀、激光刻蚀
B. 干法刻蚀、湿法刻蚀
C. 溅射加工、直写加工

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