【导读】
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1. [单选题]电子枪“FIL”灯变红,故障原因是()。
A. A、电子枪高压线路故障
B. B、真空室底下门没有关好
C. C、电子枪灯丝(electron gun filament)有问题
D. D、电子枪电流回路故障
2. [多选题]提高膜层聚集密度工艺有()。
A. A、提高离子源功率
B. B、降低温度
C. C、降低真空度
D. D、提高温度
3. [多选题]真空室内部清扫不干净,可能会导致以下哪些结果?()
A. A、机器抽速慢
B. B、产品表面质量差
C. C、机器效率降低
D. D、分光特性不重复