【名词&注释】
热扩散(thermal diffusion)、集成度(integration)
[判断题]热扩散中的横向扩散通常是纵向结深的75%~85%。先进的MOS电路不希望发生横向扩散,因为它会导致沟道长度的减小,影响器件的集成度和性能。