【名词&注释】
溶解度(solubility)、铝合金(aluminum alloy)、加速器(accelerator)、洛仑兹力(lorentz force)、离子束(ion beam)、玻璃管(glass tube)、扩展电阻(spreading resistance)、显影液(developer)
[多选题]铜与铝相比较,其性质有()。
A. 铜的电阻率比铝小
B. 铝的熔点较高
C. 铝的抗电迁移能力较弱
D. 铜与硅的接触电阻较小
E. 铜可以在低温下淀积
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学习资料:
[单选题]我们可以通过简单的结深测量和()测量来获得扩散层的重要信息。
A. 横向电阻
B. 平均电阻率
C. 薄层电阻
D. 扩展电阻(spreading resistance)
[单选题]下列哪些因素不会影响到显影效果的是()。
A. 显影液(developer)的温度
B. 显影液(developer)的浓度
C. 显影液(developer)的溶解度
D. 显影液(developer)的化学成分
[单选题]离子束垂直进入均匀的正交磁场后,将同时受到电场力和()的作用。
A. 洛仑兹力
B. 反向的电场力
C. 库仑力
D. 重力
[多选题]下列物质的等离子体适合用以刻蚀铝合金中硅的有()。
A. CF4
B. BCl3
C. Cl2
D. F2
E. CHF3
[单选题]()是因为吸附原子在晶片表面上彼此碰撞并结合所形成的。
A. 晶核
B. 晶粒
C. 核心
D. 核团
[多选题]直流二极管辉光放电系统是由()构成。
A. 抽真空的玻璃管(glass tube)
B. 抽真空后再充入某种低压气体的玻璃管(glass tube)
C. 两个电极
D. 加速器
E. 增益管
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