【名词&注释】
电流效率(current efficiency)、比例失调(disproportionality)、孔金属化(hole metallization)、酸性氯化铜(acidic copper chloride)
[多选题]酸性氯化铜(acidic copper chloride)蚀刻若操作体系的温度太高,会使()。
A. 盐酸挥发 B. 抗蚀层破坏 C. 溶液组分比例失调 D. 无影响