集成电路制造工艺员（三级）题库2022考试题106

1. [单选题]采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是（）的。

A. 结晶形态
B. 非结晶形态
C. 可能是结晶形态的，也可能是非结晶形态的
D. 以上都不对

2. [多选题]二氧化硅层中的钠离子可能来源于（）。

A. 玻璃器皿^(glassware)
B. 高温器材
C. 人体沾污
D. 化学试剂
E. 去离子水

3. [多选题]二氧化硅薄膜厚度的测量方法有（）。

A. 比色法
B. 双光干涉法
C. 椭圆偏振光法
D. 腐蚀法
E. 电容-电压法

4. [单选题]下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。

A. Na
B. B
C. P
D. As

5. [单选题]目前，最广泛使用的退火方式是（）。

A. 热退火
B. 激光退火^{(laser annealing)}
C. 电子束退火
D. 离子束退火

6. [单选题]为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。

A. 液氮冷阱
B. 净化阱
C. 抽气阱
D. 无气泵

7. [单选题]（）是通过把被蒸物体加热，利用被蒸物在高温时的饱和蒸汽压^{(saturated vapor pressure)}来进行薄膜沉积的。

A. 蒸镀
B. 溅射
C. 离子注入
D. CVD

8. [多选题]电气测量技术的应用所以能在现代各种测量技术中占有重要的地位，是因为它具有很多优点，主要有：（）。

A. 电气测量仪表的结构简单，使用方便^{(easy to use)}
B. 电气测量仪表有足够的准确度
C. 电气测量仪表可以灵活地安装在需要进行测量的地方，并可实现自动记录
D. 可以解决远距离的测量问题，为集中管理和控制提供了条件
E. 能利用电气测量的方法对非电量（如温度、压力、速度、水位及机械变形等）进行测量

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