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光致抗蚀剂在曝光前对某些溶剂是可溶的,曝光后硬化成不可溶解的

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    光刻胶、水溶液(aqueous solution)、氢氟酸(hydrofluoric acid)

  • [判断题]光致抗蚀剂在曝光前对某些溶剂是可溶的,曝光后硬化成不可溶解的物质,这一类抗蚀剂称为负性光致抗蚀剂,由此组成的光刻胶称为负性胶。()

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  • 学习资料:
  • [单选题]腐蚀二氧化硅的水溶液一般是用()
  • A. A、盐酸
    B. B、硫酸
    C. C、硝酸
    D. D、氢氟酸

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