空气污染物按照处理性质来分：有（）。

【名词&注释】

热扩散(thermal diffusion)、化学反应(chemical reaction)、反应离子刻蚀、带电粒子(charged particle)、不同之处、水蒸汽(steam)、原子团(radical)、集合体(aggregate)、等离子体刻蚀(plasma etching)、电中性(electroneutrality)

[多选题]空气污染物按照处理性质来分：有（）。

A. 酸碱性气体
B. 有机性气体
C. 特殊毒性气体
D. 水蒸汽
E. 中性气体

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学习资料：

[单选题]硅-二氧化硅系统中含有的最主要而对器件稳定性影响最大的离子是（）。

A. 钠
B. 钾
C. 氢
D. 硼

[单选题]在热扩散工艺中的预淀积步骤中，磷的扩散温度为（）。

A. 600～750℃
B. 900～1050℃
C. 1100～1250℃
D. 950～1100℃

[单选题]如果固体中的原子排列情况是紊乱的，就称之为（）。

A. 单晶靶
B. 超晶靶
C. 多晶靶
D. 非晶靶

[单选题]电离气体与普通气体的不同之处在于：后者是由电中性^{(electroneutrality)}的分子或原子组成的，前者则是（）和中性粒子组成的集合体^(aggregate)。

A. 离子
B. 原子团^(radical)
C. 电子
D. 带电粒子

[单选题]铜与氯形成的化合物挥发能力不好，因而铜的刻蚀无法以化学反应来进行，而必须施以（）。

A. 等离子体刻蚀^{(plasma etching)}
B. 反应离子刻蚀
C. 湿法刻蚀
D. 溅射刻蚀

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