有机性气体大多产生在下列哪道工艺（）。

【名词&注释】

电阻率(resistivity)、离子注入(ion implantation)、扩展电阻(spreading resistance)

[单选题]有机性气体大多产生在下列哪道工艺（）。

A. 离子注入
B. 刻蚀
C. 扩散
D. 光刻

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学习资料：

[单选题]我们可以通过简单的结深测量和（）测量来获得扩散层的重要信息。

A. 横向电阻
B. 平均电阻率
C. 薄层电阻
D. 扩展电阻

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