真空镀膜室是由（）几部分组成。

【名词&注释】

真空镀膜(vacuum coating)、交直流(ac dc)、干氧氧化(dry oxidation)、衬底加热器

[多选题]真空镀膜室是由（）几部分组成。

A. 钟罩
B. 蒸气源加热器
C. 衬底加热器
D. 活动挡板
E. 底盘

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学习资料：

[多选题]干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。

A. 生长的二氧化硅薄膜均匀性好
B. 生长的二氧化硅干燥
C. 生长的二氧化硅结构致密
D. 生长的二氧化硅是很理想的钝化膜
E. 生长的二氧化硅掩蔽能力强

[多选题]电气测量仪表若按照电流的种类来分，有（）。

A. 低压仪表
B. 高压仪表
C. 直流仪表
D. 交流仪表
E. 交直流仪表

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