按加热源的不同，可以分成（）几种不同类型的蒸发。

【名词&注释】

扫描电镜(sem)、电子束蒸发(electron beam evaporation)、真空蒸发(vacuum evaporation)、有利于(beneficial to)、微电子(microelectronics)、高压氧化、干涉显微镜(interference microscope)、粒子束(particle beams)、湿氧氧化(wet oxidized)、离子束蒸发(ion beam evaporation)

[多选题]按加热源的不同，可以分成（）几种不同类型的蒸发。

A. 真空蒸发
B. 离子束蒸发^{(ion beam evaporation)}
C. 电子束蒸发
D. 粒子束^{(particle beams)}蒸发
E. 常压蒸发

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学习资料：

[多选题]（）的方法有利于减少热预算。

A. 高压氧化
B. 湿氧氧化^{(wet oxidized)}
C. 掺氯氧化
D. 氢氧合成氧化
E. 等离子增强氧化

[多选题]微电子领域内，下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为（）。

A. 台阶仪
B. 干涉显微镜^{(interference microscope)}
C. 光切显微镜
D. 扫描电镜
E. 椭偏仪

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