抛光片的质量检测项目包括：几何参数，直径、（）、主参考面、副

【名词&注释】

迁移率(mobility)、离子注入(ion implantation)、平整度(smoothness)、电路设计(circuit design)、逻辑设计(logic design)、载流子浓度(carrier concentration)、安全电压(safety voltage)、抛光片(polishing pellets)

[填空题]抛光片^{(polishing pellets)}的质量检测项目包括：几何参数，直径、（）、主参考面、副参考面、平整度、弯曲度等；（），电阻率，载流子浓度^{(carrier concentration)}，迁移率等；晶体质量，晶向，位错密度。

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学习资料：

[单选题]说明构成每个单元所需的基本门和基本单元的集成电路设计过程叫（）：

A. A、逻辑设计
B. B、物理设计
C. C、电路设计
D. D、系统设计

[单选题]离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。

A. 能量
B. 剂量

[单选题]人们规定：（）电压为安全电压^{(safety voltage)}.

A. 36伏以下
B. 50伏以下
C. 24伏以下

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