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a-Si:H以及合金材料,用()、热CVD、光CVD等气相生长法可以制
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【名词&注释】
等离子(plasma)、合金材料(alloy material)
[填空题]a-Si:H以及合金材料,用()、热CVD、光CVD等气相生长法可以制造薄膜。
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