半导体硅常用的受主杂质是（）。

【名词&注释】

半导体(semiconductor)、真空镀膜(vacuum coating)、衬底加热器

[单选题]半导体硅常用的受主杂质是（）。

A. 锡
B. 硫
C. 硼
D. 磷

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学习资料：

[单选题]光刻工艺中，脱水烘焙的最初温度是（）。

A. 150－200℃
B. 200℃左右
C. 250℃左右
D. 300℃左右

[多选题]哪种方法可以增加缺陷的积累率而降低临界注入量：（）。

A. 低温注入
B. 常温注入
C. 高温注入
D. 分子注入
E. 双注入

[多选题]真空镀膜室是由（）几部分组成。

A. 钟罩
B. 蒸气源加热器
C. 衬底加热器
D. 活动挡板
E. 底盘

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