刻蚀要求在整个晶圆上有一个均匀的刻蚀速率，（）是在晶圆上由测

【名词&注释】

选择性(selectivity)、碳氢化合物(hydrocarbon)、氢氧化钠溶液(sodium hydroxide solution)

[单选题]刻蚀要求在整个晶圆上有一个均匀的刻蚀速率，（）是在晶圆上由测量刻蚀过程前后特定点的厚度，并计算这些点的刻蚀速率而得到的。

A. 选择性
B. 均匀性
C. 轮廓
D. 刻蚀图案

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[多选题]去正胶常用的溶剂有（）

A. 丙酮
B. 氢氧化钠溶液
C. 丁酮
D. 甲乙酮
E. 热的氯化碳氢化合物

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