静电偏转电极和静电扫描器都是（）电容器。

【名词&注释】

单晶硅(single crystal silicon)、继电保护装置(relay protection device)、多晶硅(polysilicon)、氮化硅(silicon nitride)、干法刻蚀(dry etching)、氮化物(nitride)、扫描器(scanner)、圆筒状

[单选题]静电偏转电极和静电扫描器^(scanner)都是（）电容器。

A. 片状
B. 针尖状
C. 圆筒状
D. 平行板

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[单选题]下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。

A. Na
B. B
C. P
D. As

[多选题]下列有关ARC工艺的说法正确的是（）。

A. ARC可以是硅的氮化物^(nitride)
B. 可用干法刻蚀除去
C. ARC膜可以通过PVD或者CVD的方法形成
D. ARC在刻蚀中也可做为掩蔽层
E. ARC膜也可以通过CVD的方法形成

[多选题]以（）等两层材料所组合而成的导电层便称为Polycide。

A. 单晶硅
B. 多晶硅
C. 硅化金属
D. 二氧化硅
E. 氮化硅

[单选题]为了保证保护装置能可靠地动作，27.5A的接地电流只能保证断开动作电流不超过多少的继电保护装置。（）

A. 18.3A
B. 13.8A
C. 11A
D. 9.2A

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