（）由钟罩、蒸气源加热器、衬底加热器、活动挡板和底盘构成。

【名词&注释】

热扩散(thermal diffusion)、欧姆定律(oumu dinglu)、库仑定律(coulomb law)、真空镀膜机(vacuum membrane plate machine)、真空镀膜仪(vacuum coater)、衬底加热器

[单选题]（）由钟罩、蒸气源加热器、衬底加热器、活动挡板和底盘构成。

A. 真空镀膜机
B. 真空镀膜室
C. 真空镀膜器
D. 真空镀膜仪^{(vacuum coater)}

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学习资料：

[单选题]奉献社会的实质是（）。

A. 获得社会的好评
B. 尽社会义务
C. 不要回报的付出
D. 为人民服务

[单选题]用电容－电压技术来测量扩散剖面分布是用了（）的原理。

A. pn结理论
B. 欧姆定律
C. 库仑定律
D. 四探针技术

[单选题]在热扩散工艺中的预淀积步骤中，砷和锑的扩散温度为（）。

A. 1050～1200℃
B. 900～1050℃
C. 1100～1250℃
D. 1200～1350℃

[单选题]由静电释放产生的电流泄放最大电压可以达（）。

A. 几伏
B. 几十伏
C. 几百伏
D. 几万伏

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