干氧氧化法有一些优点，但同时它的缺点有（）。

【名词&注释】

二氧化硅薄膜、干氧氧化(dry oxidation)、速度慢(slow speed)

[单选题]干氧氧化法有一些优点，但同时它的缺点有（）。

A. 生长出的二氧化硅中引入很多可动离子
B. 氧化的速度慢
C. 生长的二氧化硅缺陷多
D. 生长的二氧化硅薄膜钝化效果差

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[多选题]哪种方法可以增加缺陷的积累率而降低临界注入量：（）。

A. 低温注入
B. 常温注入
C. 高温注入
D. 分子注入
E. 双注入

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