在空位扩散中，如果迁移的空位的原子是杂质原子，扩散称为（）。

【名词&注释】

自扩散(self-diffusion)、电子束曝光(electron beam lithography)、离子束(ion beam)、杂质扩散(impurity diffusion)

[单选题]在空位扩散中，如果迁移的空位的原子是杂质原子，扩散称为（）。

A. 填隙扩散
B. 杂质扩散^{(impurity diffusion)}
C. 推挤扩散
D. 自扩散

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学习资料：

[多选题]按曝光的光源分类，曝光可以分为（）。

A. 光学曝光
B. 离子束曝光
C. 接近式曝光
D. 电子束曝光
E. 投影式曝光

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