2022机械工程题库仪器制造技术题库全套模拟试题118

1. [单选题]硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。

A. 体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；
B. 体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工；
C. 体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构；

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