静电释放的英文简述为（）。

【名词&注释】

热扩散(thermal diffusion)、光刻胶、干法刻蚀(dry etching)

[单选题]静电释放的英文简述为（）。

A. ESC
B. SED
C. ESD
D. SEM

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学习资料：

[单选题]在热扩散工艺中的预淀积步骤中，磷的扩散温度为（）。

A. 600～750℃
B. 900～1050℃
C. 1100～1250℃
D. 950～1100℃

[单选题]在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，CA的含义是（）。

A. 化学增强
B. 化学减弱
C. 厚度增加
D. 厚度减少

[单选题]不可以对SiO2进行干法刻蚀所使用的气体是（）。

A. A.CHF3B.C2F6C.C3F8D.HF

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