买来的新树脂往往是Na型或Cl型，新树脂使用前必须分别用酸（阳树

【名词&注释】

光刻胶、电子束(electron beam)、红外线(infrared)、干法刻蚀(dry etching)、氮化物(nitride)、紫外光辐射(uv radiation)

[单选题]买来的新树脂往往是Na型或Cl型，新树脂使用前必须分别用酸（阳树脂），碱（阴树脂）浸泡约（）个小时，把Na型或Cl型转换成H型或OH型。

A. 3
B. 4
C. 5
D. 6

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学习资料：

[多选题]下列有关ARC工艺的说法正确的是（）。

A. ARC可以是硅的氮化物^(nitride)
B. 可用干法刻蚀除去
C. ARC膜可以通过PVD或者CVD的方法形成
D. ARC在刻蚀中也可做为掩蔽层
E. ARC膜也可以通过CVD的方法形成

[多选题]光刻胶的光学稳定通过（）来完成的。

A. 红外线辐射
B. X射线照射
C. 加热
D. 紫外光辐射^{(uv radiation)}
E. 电子束扫描

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