硅外延生长工艺包括（）。

【名词&注释】

必典考网发布"硅外延生长工艺包括（）。"考试试题下载及答案，更多半导体芯片制造中级工题库的考试试题下载及答案考试题库请访问必典考网半导体芯片制造工题库频道。

[多选题]硅外延生长工艺包括（）。

A. 衬底制备
B. 原位HCl腐蚀
C. 生长温度，生长压力，生长速度
D. 尾气的处理

查看答案&解析 查看所有试题

学习资料：

本文链接：https://www.51bdks.net/show/g77ez.html