【名词&注释】
表面质量(surface quality)、真空度(vacuum)、冷却水(cooling water)、互补色(complementary color)、分子平均自由程(mean molecule free walk)、紫红色(mauve)、电子枪灯丝(electron gun filament)、运行时(run-time)
[判断题]关扩散泵后等待30分钟就可以关掉设备总电源。
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学习资料:
[单选题]为使蒸发材料分子从蒸发源到达基板时基本不和残余气体分子发生碰撞,故真空室内真空度要到达10-3Pa以下,以满足()条件
A. A、气体分子平均自由程小于蒸发距离.
B. B、气体分子平均自由程远大于蒸发距离
C. C、气体分子平均自由程等于蒸发距离。
D. D、气体分子平均自由程的平方大于蒸发距离。
[单选题]电子枪“FIL”灯变红,故障原因是()。
A. A、电子枪高压线路故障
B. B、真空室底下门没有关好
C. C、电子枪灯丝(electron gun filament)有问题
D. D、电子枪电流回路故障
[单选题]黄色互补色是()。
A. A、绿色
B. B、蓝色
C. C、红色
D. D、紫红色(mauve)
[多选题]真空室内部清扫不干净,可能会导致以下哪些结果?()
A. A、机器抽速慢
B. B、产品表面质量差
C. C、机器效率降低
D. D、分光特性不重复
[多选题]下列哪些部件在机器运行时(run-time)需要冷却水?()
A. A、电子枪
B. B、扩散泵
C. C、坩埚盘
D. D、晶振头
[单选题]下列()符号代表X方向的光斑位置。
A. A、XP
B. B、XS
C. C、YP
D. D、EB
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