【名词&注释】
各向异性(anisotropy)、电容器(capacitor)、万用表(multimeter)、腐蚀剂(corrosive)、金字塔(pyramid)、单晶硅表面(monocrystalline silicon surface)
[填空题]在单晶硅表面(monocrystalline silicon surface)制作绒面时,常用的各向异性腐蚀剂有有机腐蚀剂和(),并且被腐蚀的单晶硅表面(monocrystalline silicon surface)为100晶面时,可形成金字塔(pyramid)方椎形状,腐蚀后方椎高度一般为3~6µm。