提高膜层聚集密度工艺有（）。

【名词&注释】

真空度(vacuum)、离子源(ion source)

[多选题]提高膜层聚集密度工艺有（）。

A. A、提高离子源功率
B. B、降低温度
C. C、降低真空度
D. D、提高温度

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